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地址:成都市双流区蛟龙工业港淮河路215号
产品详情
产品主要参数
真空室内径:φ1500mm
真空室高度:1800mm
极限真空度:5.0×10-4Pa
恢复真空:大气到5×10-3Pa≤18min
工件夹具转速:5~60 r.p.m
基片烘烤:侧壁烘烤
磁控靶:孪生旋转靶
溅射电源:中频电源
膜厚控制:单探头+晶控
离子源:条形离子源
用途:手机后盖颜色膜
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